規格

測量面對基面垂直度

測量面平面度或垂直度

基面平面度或直線度

精度等級(微米)

00

0

00

0

00

0

Sp400

1.6

2.6

2.4

3.9

8.0

13

Sp630

2.1

3.5

3.2

5.3

10.5

18

Sp1000

3.0

5.0

4.5

7.5

15

25

Sp1600

4.4

7.4

6.6

11.1

22

37

Sp2000

5.4

10.0

8.1

13.5

27

45